财务表现 - 2025年第一季度营业收入21.73亿元 同比增长35.40% [1] - 归属于上市公司股东的净利润3.13亿元 同比增长25.67% [1] 业务进展 - 先进制程工艺持续创新 高端刻蚀产品新增付运量显著提升 [1] - 六种薄膜设备已顺利进入市场 [1] 研发投入 - 研发投入约6.87亿元 同比增长约90.53% [1]