项目概况 - 中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在中德（沈阳）高端装备制造产业园开工建设，聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发 [1] - 项目由中科芯微智能装备（沈阳）有限公司投资建设，计划总投资额5亿元，占地面积6.9万平方米，规划建筑面积约8.3万平方米 [1] - 将建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等设施，投产后预计可年产半导体机器人1000台套，新增产值10亿元 [1] 公司背景与技术进展 - 中科芯微是素珀电子科技（上海）有限公司于2020年在中德装备园设立的高新技术企业，专注于半导体制造核心装备的自主研发与产业化 [1] - 5年来逐步构建覆盖芯片制造前道工艺全制程的设备体系，累计完成10余项重大科技攻关项目，开发出20余种高精度半导体洁净机器人系列产品 [1] - 在精密传动系统、真空环境兼容性、纳米级定位精度等领域取得重大进展，突破了相关技术壁垒 [1] 行业与区域发展 - 项目旨在助力沈阳乃至辽宁战略性新兴产业集群加快发展，打造国内领先的集研发、生产、销售为一体的半导体机器人研发生产基地 [1] - 中德装备园持续提升先进新材料产业发展能级，贺利氏石英沈阳新工厂竣工投产，汉京半导体产业基地等一批项目加速建设 [2] - 今年一季度中德装备园新材料产业集群规模以上企业实现产值75.9亿元，同比增长9.7%，产业规模占沈阳市近"半壁江山" [2] 企业战略与展望 - 素珀电子科技董事长朱玉东表示，新研发生产基地建成后有望吸引更多上下游企业加入，形成产业链聚集发展的良好态势 [2]