专利摘要显示，本发明提供了一种输出功率限值计算方法及半导体工艺设备，应用于加热盘，该加热盘 包括第一加热件和温度传感器，温度传感器用于检测第一加热件的温度，该方法包括：获取第一加热件 的历史运行数据；其中，历史运行数据包括历史输出功率和温度传感器检测的温度值；基于历史运行数 据中第一加热件的输出功率及升温速度确定第一加热件升温时所需的耗热功率，将耗热功率作为第一加 热件在升温阶段的功率下限值；基于耗热功率计算第一加热件在预设升温速度下的供热功率，将供热功 率作为第一加热件在升温阶段的功率上限值。本发明能够避免第一加热件的温度产生较大波动，提升了 温度控制的稳定性。 金融界2025年5月5日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名 为"一种输出功率限值计算方法及半导体工艺设备"的专利，公开号CN119916859A，申请日期为2023年 10月。 天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气 机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京 北方华创微电子装备有限公司共对外投资了 ...