金融界5月22日消息，上证指数低开震荡，中证诚通国企战略新兴产业指数 (国企战略新兴，932266)下 跌1.12%，报1347.12点，成交额132.56亿元。 数据统计显示，中证诚通国企战略新兴产业指数近一个月上涨1.88%，近三个月下跌10.59%，年至今下 跌3.62%。 据了解，中证诚通国企战略新兴产业指数由中国诚通控股集团有限公司定制，从战略新兴产业主题上市 公司中，选取50只成长潜力较大的国企上市公司证券作为指数样本，反映战略新兴产业中代表性国企上 市公司证券的整体表现。该指数以2016年12月30日为基日，以1000.0点为基点。 从指数持仓来看，中证诚通国企战略新兴产业指数十大权重分别为：北方华创（11.26%）、京东方A （9.56%）、中国铝业（8.92%）、生益科技（5.56%）、金风科技（4.3%）、中国动力（4.14%）、晶 方科技（2.99%）、盛和资源（2.78%）、晶合集成（2.75%）、航天彩虹（2.44%）。 从中证诚通国企战略新兴产业指数持仓的市场板块来看，深圳证券交易所占比51.46%、上海证券交易 所占比47.77%、北京证券交易所占比0.77%。 从中证诚通国企战 ...

报告公司投资评级 - 维持公司“买入”评级 [8] 报告的核心观点 - 2025年一季度北方华创实现营业收入82亿元，同比增加38%，环比减少13%；归母净利润16亿元，同比增加39%，环比增加36%；扣非净利16亿元，同比增加46%，环比增加20%；2024年实现营业收入298亿元，同比增加35%；归母净利润56亿元，同比增加44%；扣非净利56亿元，同比增加56% [5] - 2024年公司电子工艺装备收入277亿元，同比增长41%，其中刻蚀设备、薄膜沉积设备等收入均有增长，且各设备领域完成全系列产品布局 [6] - 2025年3月公司进军离子注入设备市场，发布首款离子注入机，形成半导体制造装备四大核心环节闭环覆盖，提升竞争力 [7] - 预计2025 - 2027年公司归母净利润分别为77.12、94.16、117.32亿元，对应的EPS分别为14.44、17.63、21.96元，对应最新收盘价PE分别为30x、24x、19x [8] 根据相关目录分别进行总结 公司基本信息 - 收盘价433.66元，近12个月最高/最低为490.03/278.13元，总股本534百万股，流通股本534百万股，流通股比例99.91%，总市值2317亿元，流通市值2315亿元 [2] 财务指标 |主要财务指标|2024A|2025E|2026E|2027E| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |营业收入（百万元）|29838|39707|49175|60987| |收入同比（%）|35.1%|33.1%|23.8%|24.0%| |归属母公司净利润（百万元）|5621|7712|9416|11732| |净利润同比（%）|44.2%|37.2%|22.1%|24.6%| |毛利率（%）|42.9%|42.2%|41.9%|41.8%| |ROE（%）|18.1%|19.9%|19.6%|19.6%| |每股收益（元）|10.57|14.44|17.63|21.96| |P/E|36.98|29.57|24.22|19.44| |P/B|6.71|5.89|4.74|3.81| |EV/EBITDA|26.46|21.40|17.06|13.70| [9][12] 财务报表与盈利预测 资产负债表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |流动资产|46211|61233|75916|94906| |非流动资产|19498|21435|24230|26739| |资产总计|65709|82668|100146|121645| |流动负债|23482|31731|38677|47305| |非流动负债|10002|10981|12001|13021| |负债合计|33484|42712|50678|60326| |少数股东权益|1144|1222|1317|1435| |归属母公司股东权益|31082|38735|48151|59884| [13] 利润表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |营业收入|29838|39707|49175|60987| |营业成本|17051|22949|28559|35505| |营业利润|6527|8753|10809|13316| |利润总额|6511|8753|10809|13316| |净利润|5694|7790|9511|11851| |少数股东损益|72|78|95|119| |归属母公司净利润|5621|7712|9416|11732| [13] 现金流量表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |经营活动现金流|1573|7516|8052|9930| |投资活动现金流|-2212|-3481|-4760|-4740| |筹资活动现金流|740|711|843|812| |现金净增加额|107|4745|4135|6002| [13] 主要财务比率 |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |成长能力 - 营业收入同比（%）|35.1%|33.1%|23.8%|24.0%| |成长能力 - 营业利润同比（%）|46.7%|34.1%|23.5%|23.2%| |成长能力 - 归属于母公司净利润同比（%）|44.2%|37.2%|22.1%|24.6%| |获利能力 - 毛利率（%）|42.9%|42.2%|41.9%|41.8%| |获利能力 - 净利率（%）|18.8%|19.4%|19.1%|19.2%| |获利能力 - ROE（%）|18.1%|19.9%|19.6%|19.6%| |获利能力 - ROIC（%）|15.0%|16.3%|16.2%|16.5%| |偿债能力 - 资产负债率（%）|51.0%|51.7%|50.6%|49.6%| |偿债能力 - 净负债比率（%）|103.9%|106.9%|102.4%|98.4%| |偿债能力 - 流动比率|1.97|1.93|1.96|2.01| |偿债能力 - 速动比率|0.84|0.80|0.81|0.84| |营运能力 - 总资产周转率|0.50|0.54|0.54|0.55| |营运能力 - 应收账款周转率|6.08|6.27|6.64|6.64| |营运能力 - 应付账款周转率|2.09|2.12|2.22|2.22| |每股指标 - 每股收益（元）|10.57|14.44|17.63|21.96| |每股指标 - 每股经营现金流（摊薄）（元）|2.95|14.07|15.07|18.59| |每股指标 - 每股净资产（元）|58.25|72.51|90.14|112.10| |估值比率 - P/E|36.98|29.57|24.22|19.44| |估值比率 - P/B|6.71|5.89|4.74|3.81| |估值比率 - EV/EBITDA|26.46|21.40|17.06|13.70| [13]

报告公司投资评级 - 投资评级为买入（维持） [1] 报告的核心观点 - 2025年一季度公司实现营业收入82亿元，同比增加38%，环比减少13%；归母净利润16亿元，同比增加39%，环比增加36%；扣非净利16亿元，同比增加46%，环比增加20% [4] - 2024年公司实现营业收入298亿元，同比增加35%；归母净利润56亿元，同比增加44%；扣非净利56亿元，同比增加56% [4] - 预计2025 - 2027年公司归母净利润分别为77.12、94.16、117.32亿元，对应的EPS分别为14.44、17.63、21.96元，对应最新收盘价PE分别为30x、24x、19x，维持“买入”评级 [7] 根据相关目录分别进行总结 薄膜沉积收入高增，设备领域多点开花 - 2024年公司电子工艺装备收入277亿元，同比增长41% [5] - 刻蚀设备收入超80亿元，同比增长约33%；薄膜沉积设备收入超100亿元，同比增长约67%；热处理设备收入超20亿元；湿法设备收入超10亿元 [5] - 刻蚀设备领域完成全系列产品布局；薄膜沉积领域形成全系列工艺与设备阵容；热处理板块覆盖全系列产品；湿法领域构建全面解决方案 [5] 进军离子注入，多领域协同厚积薄发 - 2025年3月公司正式进军离子注入设备市场，并发布首款离子注入机Sirius MC 313 [6] - 离子注入设备主要用于12寸逻辑、存储芯片的B、P、As等元素注入，浸没式机型主打高剂量、低能量离子注入，面向存储和逻辑领域的CMOS、加氢钝化、SOI等工艺 [6] - 公司形成半导体制造装备四大核心环节闭环覆盖，将提升在国内外晶圆制造市场的竞争力，为持续技术创新与国产化替代奠定基础 [6] 财务指标 |主要财务指标|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |营业收入（百万元）|29838|39707|49175|60987| |收入同比（%）|35.1%|33.1%|23.8%|24.0%| |归属母公司净利润（百万元）|5621|7712|9416|11732| |净利润同比（%）|44.2%|37.2%|22.1%|24.6%| |毛利率（%）|42.9%|42.2%|41.9%|41.8%| |ROE（%）|18.1%|19.9%|19.6%|19.6%| |每股收益（元）|10.57|14.44|17.63|21.96| |P/E|36.98|29.57|24.22|19.44| |P/B|6.71|5.89|4.74|3.81| |EV/EBITDA|26.46|21.40|17.06|13.70| [8][11] 财务报表与盈利预测 资产负债表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |流动资产|46211|61233|75916|94906| |现金|12347|17093|21228|27230| |应收账款|6045|6618|8196|10164| |其他应收款|113|110|137|169| |预付账款|889|1836|2285|2840| |存货|23479|31824|39566|49133| |其他流动资产|3338|3752|4505|5369| |非流动资产|19498|21435|24230|26739| |长期投资|66|66|66|66| |固定资产|6205|7431|8946|9805| |无形资产|4703|5503|6603|8103| |其他非流动资产|8524|8435|8615|8765| |资产总计|65709|82668|100146|121645| |流动负债|23482|31731|38677|47305| |短期借款|3|3|3|3| |应付账款|10165|11475|14280|17753| |其他流动负债|13314|20253|24395|29550| |非流动负债|10002|10981|12001|13021| |长期借款|3946|4946|5946|6946| |其他非流动负债|6055|6035|6055|6075| |负债合计|33484|42712|50678|60326| |少数股东权益|1144|1222|1317|1435| |股本|534|534|534|534| |资本公积|16427|16364|16364|16364| |留存收益|14121|21837|31253|42986| |归属母公司股东权益|31082|38735|48151|59884| |负债和股东权益|65709|82668|100146|121645| [12] 利润表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |营业收入|29838|39707|49175|60987| |营业成本|17051|22949|28559|35505| |营业税金及附加|178|238|246|305| |销售费用|1085|1390|1721|2135| |管理费用|2111|2779|3442|4269| |财务费用|60|-101|-165|-216| |资产减值损失|-75|-50|-50|-80| |公允价值变动收益|6|0|0|0| |投资净收益|3|0|0|0| |营业利润|6527|8753|10809|13316| |营业外收入|18|0|0|0| |营业外支出|34|0|0|0| |利润总额|6511|8753|10809|13316| |所得税|817|963|1297|1465| |净利润|5694|7790|9511|11851| |少数股东损益|72|78|95|119| |归属母公司净利润|5621|7712|9416|11732| |EBITDA|7653|10195|12609|15331| |EPS（元）|10.57|14.44|17.63|21.96| [12] 现金流量表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |经营活动现金流|1573|7516|8052|9930| |净利润|5694|7790|9511|11851| |折旧摊销|1071|1543|1965|2231| |财务费用|168|146|177|208| |投资损失|-3|0|0|0| |营运资金变动|-5311|-2023|-3651|-4441| |其他经营现金流|10961|9873|13212|16372| |投资活动现金流|-2212|-3481|-4760|-4740| |资本支出|-2039|-4110|-4710|-4710| |长期投资|-173|0|0|0| |其他投资现金流|1|629|-50|-30| |筹资活动现金流|740|711|843|812| |短期借款|-20|0|0|0| |长期借款|-1889|1000|1000|1000| |普通股增加|3|1|0|0| |资本公积增加|1456|-63|0|0| |其他筹资现金流|1190|-227|-157|-188| |现金净增加额|107|4745|4135|6002| [12] 主要财务比率 |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |成长能力| | | | | |营业收入|35.1%|33.1%|23.8%|24.0%| |营业利润|46.7%|34.1%|23.5%|23.2%| |归属于母公司净利润|44.2%|37.2%|22.1%|24.6%| |获利能力| | | | | |毛利率（%）|42.9%|42.2%|41.9%|41.8%| |净利率（%）|18.8%|19.4%|19.1%|19.2%| |ROE（%）|18.1%|19.9%|19.6%|19.6%| |ROIC（%）|15.0%|16.3%|16.2%|16.5%| |偿债能力| | | | | |资产负债率（%）|51.0%|51.7%|50.6%|49.6%| |净负债比率（%）|103.9%|106.9%|102.4%|98.4%| |流动比率|1.97|1.93|1.96|2.01| |速动比率|0.84|0.80|0.81|0.84| |营运能力| | | | | |总资产周转率|0.50|0.54|0.54|0.55| |应收账款周转率|6.08|6.27|6.64|6.64| |应付账款周转率|2.09|2.12|2.22|2.22| |每股指标（元）| | | | | |每股收益|10.57|14.44|17.63|21.96| |每股经营现金流（摊薄）|2.95|14.07|15.07|18.59| |每股净资产|58.25|72.51|90.14|112.10| |估值比率| | | | | |P/E|36.98|29.57|24.22|19.44| |P/B|6.71|5.89|4.74|3.81| |EV/EBITDA|26.46|21.40|17.06|13.70| [12]

报告公司投资评级 - 重申买入评级，目标价维持在512元人民币 [1][8] 报告的核心观点 - 公司新订单在2024年同比增长约25%，2025年第一季度保持增长势头，预计地缘政治紧张局势对其无重大影响，新订单今年将以类似速度增长 [1] - 公司通过内部研发和外部收购积极扩大产品覆盖范围，关键集成电路设备类别包括蚀刻、沉积、热处理、清洗和离子注入，还计划收购光刻涂层设备制造商Kingsemi 17.9%的股份 [1] - 公司是中国领先的半导体设备制造商，拥有最全面的产品组合，将受益于中国半导体国产化加速，同时扩大产品广度以巩固一站式设备平台地位 [1] - 预计公司2025年营收将以高于同行平均30%的速度增长至389亿元人民币，基于SEMI预测，意味着市场份额将增加6% [8] 各部分总结 盈利摘要 |指标|FY23A|FY24A|FY25E|FY26E|FY27E| |----|----|----|----|----|----| |营收（百万元人民币）|22,079|29,838|38,909|48,481|58,243| |同比增长（%）|50.3|35.1|30.4|24.6|20.1| |毛利率（%）|41.1|42.9|43.4|44.0|45.0| |净利润（百万元人民币）|3,899.1|5,621.2|7,426.9|9,508.6|12,268.5| |同比增长（%）|65.7|44.2|32.1|28.0|29.0| |每股收益（人民币）|7.36|10.57|13.90|17.80|22.97| |市盈率（倍）|58.9|41.0|31.2|24.4|18.9| |净资产收益率（%）|17.7|20.3|21.6|22.6|23.6| [2] 目标价格与当前价格 - 目标价格为512元人民币，较当前价格有18.1%的上涨空间，当前价格为433.66元人民币 [3] 股票数据 - 市值为229,9553百万元人民币，3个月平均成交量为2,201.9百万元人民币，52周最高价/最低价为486.69/283.86元人民币，总发行股份为530.3百万股 [4] 股权结构 - 北京七星华电科技集团持股33.6%，北京电子控股持股9.4% [5] 股价表现 |时间|绝对表现|相对表现| |----|----|----| |1个月|-4.4%|-10.5%| |3个月|-4.9%|-2.7%| |6个月|-0.1%|1.3%| [6] 行业整合与公司战略 - 行业整合是关键主题，公司拟收购Kingsemi约18%的股份，预计交易在2025年第三季度完成，这将增强公司向综合半导体设备平台的演进 [9] - 公司对国内半导体设备资本支出周期有信心，预计海外产品需求正常化将为本土供应商创造更多空间，国内成熟节点投资未来2 - 3年将稳定，先进逻辑和存储业务将推动未来增长 [9] 盈利预测调整 |指标|FY25E（新）|FY26E（新）|FY27E（新）|FY25E（旧）|FY26E（旧）|FY27E（旧）|差异（%）| |----|----|----|----|----|----|----|----| |营收（百万元人民币）|38,909|48,481|58,243|39,030|48,443|NA|0%| |毛利润（百万元人民币）|16,901|21,353|26,185|17,296|21,956|NA|-2%| |净利润（百万元人民币）|7,427|9,509|12,268|7,547|9,873|NA|-2%| |每股收益（人民币）|13.90|17.80|22.97|14.21|18.59|NA|-2%| |毛利率（%）|43.4|44.0|45.0|44.3|45.3|NA|-0.9个百分点| |净利率（%）|19.1|19.6|21.1|20.3|21.2|NA|-1.2个百分点| [10] 与彭博共识预测对比 |指标|FY25E（CMBIGM）|FY26E（CMBIGM）|FY27E（CMBIGM）|FY25E（BBG Consensus）|FY26E（BBG Consensus）|FY27E（BBG Consensus）|差异（%）| |----|----|----|----|----|----|----|----| |营收（百万元人民币）|38,909|48,481|58,243|38,762|48,201|58,932|0%| |毛利润（百万元人民币）|16,901|21,353|26,185|16,987|21,229|25,818|-1%| |净利润（百万元人民币）|7,427|9,509|12,268|7,709|9,799|12,209|-4%| |每股收益（人民币）|13.90|17.80|22.97|14.40|18.37|23.31|-3%| |毛利率（%）|43.4|44.0|45.0|43.8|44.0|43.8|-0.4个百分点| |净利率（%）|19.1|19.6|21.1|19.9|20.3|20.7|-0.8个百分点| [11] 财务摘要 - 提供了2022A - 2027E的损益表、资产负债表和现金流量表详细数据 [16][17]

从指数持仓来看，中证高端装备制造指数十大权重分别为：宁德时代（8.68%）、比亚迪（4.38%）、 中芯国际（2.14%）、立讯精密（2.06%）、汇川技术（1.86%）、京东方A（1.81%）、寒武纪 （1.77%）、北方华创（1.75%）、海光信息（1.64%）、三一重工（1.44%）。 跟踪中证高装的公募基金包括：东财中证高端装备制造指数增强A、东财中证高端装备制造指数增强 C、天弘中证高端装备制造增强A、天弘中证高端装备制造增强C、东财中证高端装备制造指数增强E。 从中证高端装备制造指数持仓的市场板块来看，深圳证券交易所占比54.32%、上海证券交易所占比 45.58%、北京证券交易所占比0.10%。 金融界5月19日消息，A股三大指数收盘涨跌不一，中证高端装备制造指数 (中证高装，930599)下跌 0.13%，报5678.24点，成交额1186.7亿元。 从中证高端装备制造指数持仓样本的行业来看，工业占比43.50%、信息技术占比38.26%、可选消费占 比12.42%、通信服务占比5.56%、能源占比0.26%。 数据统计显示，中证高端装备制造指数近一个月上涨4.53%，近三个月下跌6.29%， ...

证券代码：002371 证券简称：北方华创 公告编号：2025-038 北方华创科技集团股份有限公司 2024 年度股东大会决议公告 本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整，没有虚 假记载、误导性陈述或者重大遗漏。 特别提示： 1.本次股东大会以现场投票与网络投票相结合的方式召开。 2.本次股东大会无变更或否决议案的情况。 一、会议召开情况 北方华创科技集团股份有限公司（简称"公司"）于 2025 年 5 月 16 日 14:00 在公司会议室召开 2024 年度股东大会，会议采取现场投票与网络投票相结合的 方式召开。其中，通过深圳证券交易所交易系统进行网络投票的时间为 2025 年 5 月 16 日 9:15-9:25，9:30-11:30 和 13:00-15:00；通过深圳证券交易所互联网投票 系统投票的时间为 2025 年 5 月 16 日 9:15-15:00 期间的任意时间。 本次股东大会由公司董事会召集，副董事长李前先生主持，本次会议的召集、 召开符合《公司法》《上市公司股东会规则》《深圳证券交易所股票上市规则》 及《公司章程》的相关规定。 二、会议出席情况 出席本次会议的股东 ...

北京金诚同达律师事务所 关于 北方华创科技集团股份有限公司 2024 年度股东大会的 法律意见书 北京市朝阳区建国门外大街 1 号国贸大厦 A 座 10 层 电话：010-5706 8585 传真：010-6518 5057 金诚同达律师事务所 法律意见书 北京金诚同达律师事务所 关于北方华创科技集团股份有限公司 2024 年度股东大会的 法律意见书 金证法意[2025]字 0516 第 0447 号 致：北方华创科技集团股份有限公司 北京金诚同达律师事务所（以下简称"本所"）接受北方华创科技集团股份 有限公司（以下简称"北方华创"或"公司"）的聘请，指派本所律师出席公司 2024 年度股东大会（以下简称"本次股东大会"）并对会议的相关事项出具法律 意见书。 本所律师根据《中华人民共和国公司法》（以下简称"《公司法》"）、《中 华人民共和国证券法》《上市公司股东会规则》（以下简称"《股东会规则》"）、 《律师事务所从事证券法律业务管理办法》《律师事务所证券法律业务执业规则 （试行）》等有关法律、法规和规范性文件的要求以及《北方华创科技集团股份 有限公司章程》（以下简称"《公司章程》"）的规定，对本次股东大会的 ...

中泰证券认为，国产化大背景下，整体设备公司2025Q1季末合同负债环比增长，预示未来成长动力。 2025Q1季末，中微公司、拓荆科技、芯源微等合同负债较2024Q4季末环比增长分别为19%、26%、 22%，显现设备公司在手订单及2025Q1新签订单的增长，其背后是国产晶圆厂积极导入国产设备带来 下单量的增加。北方华创主要受客户下单季节性影响，2024Q3季末合同负债环比下降13%。长川科 技、华峰测控合同负债环比大幅上涨。长川科技2025Q1季末合同负债环比增长76%，华峰测控2025Q1 季末合同负债环比增长44%，显现2025Q1签单动能进一步增强；金海通2025Q1季末合同负债环比下降 87%，系公司订单到收入转化周期较短，2025Q1客户下单节奏影响公司当季确收及合同负债。 截至5月16日11:25，中证半导体材料设备主题指数上涨0.18%，成分股中科飞测上涨1.75%，江丰电子上 涨1.43%，耐科装备上涨1.27%，中晶科技上涨1.15%，安集科技上涨0.94%。半导体材料ETF （562590）上涨0.09%，最新价报1.07元。拉长时间看，截至5月15日，半导体材料ETF今年以来累计上 涨1 ...

数据来源：天眼查APP 证券之星消息，根据天眼查APP数据整理，近日，北京北方华创科技服务有限公司成立，法定代表人为 王洋，注册资本1000万元，经营范围包含：一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技 术转让、技术推广；专业保洁、清洗、消毒服务；建筑物清洁服务；信息技术咨询服务；工程管理服 务；物业管理；租赁服务(不含许可类租赁服务)；销售代理；软件销售；会议及展览服务；餐饮管理； 社会经济咨询服务；健康咨询服务(不含诊疗服务)；酒店管理；企业管理咨询；企业管理；商务代理代 办服务；新鲜水果批发；食用农产品批发；食品销售(仅销售预包装食品)；保健食品(预包装)销售；日 用品批发；针纺织品及原料销售；服装服饰批发；五金产品零售；消毒剂销售(不含危险化学品)；厨具 卫具及日用杂品批发；日用品销售；办公设备销售；办公用品销售；家用电器销售；办公设备耗材销 售；电子产品销售；体育用品及器材批发；家具销售；特种劳动防护用品销售；建筑材料销售；体验式 拓展活动及策划；数字技术服务；软件外包服务；信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务)。(除依法须 经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目：互联网 ...

业绩表现 - 2025年一季度营业收入82.06亿元，同比增长37.90% [2] - 2025年一季度归母净利润15.81亿元，同比增长38.80% [2] - 2025年一季度扣非净利润15.7亿元，同比增长44.75% [2] - 2017年至2024年营业收入从22.23亿元增长至298.38亿元 [3] - 2017年至2024年归母净利润从1.26亿元增长至56.21亿元 [3] 订单与现金流 - 2025年一季度新签订单保持良好趋势 [1][3] - 2025年一季度经营活动现金流净额为-17.29亿元，净流出幅度加大 [3] - 现金流下降因采购商品支付的货款增加 [3] 研发投入与技术创新 - 2025年一季度研发费用10.26亿元，同比增长40.89% [5] - 2018年至2024年研发费用从3.51亿元增长至36.69亿元 [4] - 2024年新申请专利超1300件，其中发明专利占比超80% [4] - 集成电路装备领域累计出货量突破13000腔 [4] - 多款新产品实现关键技术突破，包括CCP刻蚀设备、ALD设备等 [2] 财务结构 - 2025年一季度末资产负债率降至50%，连续四个季度改善 [1][6] - 2025年一季度末总资产682.42亿元，较2017年末增长超7倍 [6] 业务布局 - 通过三家子公司布局半导体装备、真空及锂电装备、精密电子元器件三大业务板块 [4] - 2024年ALD设备总收入近20亿元 [2]