业绩表现 - 2025年一季度营业收入82.06亿元，同比增长37.90% [2] - 2025年一季度归母净利润15.81亿元，同比增长38.80% [2] - 2025年一季度扣非净利润15.7亿元，同比增长44.75% [2] - 2017年至2024年营业收入从22.23亿元增长至298.38亿元 [3] - 2017年至2024年归母净利润从1.26亿元增长至56.21亿元 [3] 订单与现金流 - 2025年一季度新签订单保持良好趋势 [1][3] - 2025年一季度经营活动现金流净额为-17.29亿元，净流出幅度加大 [3] - 现金流下降因采购商品支付的货款增加 [3] 研发投入与技术创新 - 2025年一季度研发费用10.26亿元，同比增长40.89% [5] - 2018年至2024年研发费用从3.51亿元增长至36.69亿元 [4] - 2024年新申请专利超1300件，其中发明专利占比超80% [4] - 集成电路装备领域累计出货量突破13000腔 [4] - 多款新产品实现关键技术突破，包括CCP刻蚀设备、ALD设备等 [2] 财务结构 - 2025年一季度末资产负债率降至50%，连续四个季度改善 [1][6] - 2025年一季度末总资产682.42亿元，较2017年末增长超7倍 [6] 业务布局 - 通过三家子公司布局半导体装备、真空及锂电装备、精密电子元器件三大业务板块 [4] - 2024年ALD设备总收入近20亿元 [2]