半导体产业指数表现 - 中证半导体产业指数(931865)上涨0.19%，成分股深科达(688328)上涨2.75%，华海诚科(688535)上涨2.29%，和林微纳(688661)上涨1.77%，至纯科技(603690)上涨1.67%，长川科技(300604)上涨1.55% [3] - 半导体产业ETF(159582)上涨0.07%，最新价报1.42元，盘中换手4.82%，成交875.90万元，近1周日均成交2036.07万元 [3] 行业趋势与投资逻辑 - 东吴证券看好自主可控趋势下设备&零部件国产替代加速，逻辑包括：1) 先进逻辑/存储厂商持续扩产带动设备需求上升 2) 国产设备商平台化布局加速（北方华创、中微公司等） 3) 设备国产化率仍有较大空间 4) AI芯片浪潮推动封测设备国产化替代 [4] - 半导体产业ETF跟踪中证半导体产业指数，覆盖不超过40只半导体材料、设备和应用领域上市公司 [4] ETF规模与资金动向 - 半导体产业ETF最新规模达1.87亿元，份额达1.32亿份，均创近1月新高 [4] - 近3天连续资金净流入合计3432.29万元，日均净流入1144.10万元，最高单日净流入1499.32万元 [5] 历史业绩与指标 - 近1年净值上涨42.20%，在指数股票型基金中排名前3.84% [5] - 成立以来最高单月回报20.82%，最长连涨涨幅45.46%，持有1年盈利概率100%，超越基准年化收益1.67% [5] - 夏普比率1.19，今年以来相对基准回撤0.48% [5] - 管理费率0.50%，托管费率0.10%，为可比基金最低，近1年跟踪误差0.056%，跟踪精度最高 [5] 指数成分与权重 - 中证半导体产业指数前十大权重股合计占比76.35%，包括北方华创(15.51%)、中微公司(12.80%)、中芯国际(11.67%)等 [6] - 权重股表现分化：中微公司涨1.12%，长川科技涨1.55%，北方华创跌0.21%，华海清科跌0.59% [8]