融资计划 - 公司拟发行可转债募资不超过11.7亿元，用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂、研发实验室扩建及补充流动资金[1][2] - 半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目总投资6.7亿元，拟使用募资6.43亿元，占总募资额54.96%，预计达产后年销售收入15.65亿元，税后财务内部收益率23.10%，静态投资回收期6.24年[2] - 研发实验室扩建项目总投资4.3亿元，拟使用募资2.27亿元，旨在提升研发能力及科技成果转化能力[3] - 拟使用3亿元补充流动资金，以满足业务快速发展需求[3] 业务发展 - 公司形成以ALD技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，布局逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等细分领域[4] - 2024年营收27亿元，同比增长198.95%，但净利润0.84亿元同比下滑16.16%[4] - 2024年一季度营收5.1亿元，同比增长198.95%，净利润0.84亿元，同比增长2253.57%[5] - 半导体业务2024年收入3.27亿元，同比增长168%，占营收比重从2022年6.87%提升至2024年12.14%[6] 研发投入与订单储备 - 2022-2024年研发投入累计8.65亿元，其中每年超60%投向半导体领域[5] - 截至2024年底，半导体业务在手订单15.05亿元，同比增长65.91%，总在手订单67.72亿元（光伏51.88亿元，新兴应用0.79亿元）[6] - 2024年新增专利授权49项，累计授权178项，新增申请252项，累计申请613项[6]