公司专利技术突破 - 公司申请半导体工艺设备温度控制专利 公开号CN120164806A 申请日期2023年12月 该专利涉及承载装置的多温区温差控制方法 通过设定第一阈值和第二阈值筛选目标温差 控制高温区停止升温并维持低温区加热 使温差降至第三阈值以下 [1] - 该技术解决多温区升温速率不一致问题 避免因温差过大导致承载装置损坏 显著延长设备使用寿命 适用于半导体制造工艺中的精密温控场景 [1] 公司基础信息 - 北京北方华创微电子装备有限公司成立于2001年 注册资本114153.708311万人民币 主营业务为电气机械和器材制造业 [2] - 公司拥有5000条专利信息 340项行政许可 66条商标信息 对外投资7家企业 参与招投标1068次 体现强大的技术积累和市场活动能力 [2]