市场表现 - 中证半导体产业指数(931865)上涨0.48%，成分股芯源微(688037)上涨2.77%，中巨芯(688549)上涨2.02%，盛美上海(688082)上涨1.82%，安集科技(688019)上涨1.61%，中科飞测(688361)上涨1.37% [1] - 半导体产业ETF(159582)上涨0.44%，最新价报1.36元 [1] - 半导体产业ETF近1年净值上涨23.66%，自成立以来最高单月回报为20.82%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为45.46%，上涨月份平均收益率为9.32%，历史持有1年盈利概率为100.00% [2] - 半导体产业ETF成立以来超越基准年化收益为1.55%，夏普比率为1.05 [2][4] 行业趋势 - 2025年一季度半导体板块经营业绩实现同比增长，受益于人工智能持续推进、"国补"推动终端消费需求回暖以及设备、材料等环节自主可控加速推进 [1] - 自主可控方面，我国半导体设备、材料国产替代取得一定进展，但在光刻、检测量测、离子注入等环节国产化率仍然偏低 [1] - 继续看好自主可控与人工智能两条主线，重点把握相关领域设备、材料的国产替代机遇 [1] 资金流动 - 半导体产业ETF最新资金流入流出持平，近21个交易日内合计"吸金"1227.41万元 [2] 回撤与跟踪 - 半导体产业ETF今年以来相对基准回撤0.48% [3] - 半导体产业ETF近2月跟踪误差为0.024%，在可比基金中跟踪精度最高 [4] 费率与指数构成 - 半导体产业ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低 [4] - 中证半导体产业指数选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等相关领域的上市公司证券作为指数样本 [4] - 中证半导体产业指数前十大权重股合计占比75.47%，包括北方华创(15.51%)、中微公司(12.80%)、中芯国际(11.67%)、海光信息(8.62%)、韦尔股份(7.42%)等 [4][6] 个股表现 - 北方华创(002371)上涨0.50%，权重15.51% [6] - 中微公司(688012)上涨0.71%，权重12.80% [6] - 中芯国际(688981)下跌0.29%，权重11.67% [6] - 海光信息(688041)下跌0.12%，权重8.62% [6] - 韦尔股份(603501)下跌0.14%，权重7.42% [6] - 华海清科(688120)上涨1.26%，权重4.30% [6] - 拓荆科技(688072)上涨0.98%，权重3.94% [6] - 南大光电(300346)下跌0.26%，权重3.80% [6] - 长川科技(300604)下跌0.10%，权重3.30% [6] - 安集科技(688019)上涨1.61%，权重2.81% [6]