市场表现 - 中证半导体材料设备主题指数上涨1.02%，成分股晶瑞电材上涨6.21%，有研新材上涨4.24%，华海诚科上涨4.01%，三佳科技、神工股份等个股跟涨 [1] - 半导体材料ETF（562590）上涨0.95%，冲击3连涨，盘中收复20日均线，最新价报1.06元 [1] - 沪指低开翻红，锂电池、光刻机等概念发力带动盘面人气 [1] 行业分析 - 本土扩产需求不减，国产替代空间可观，半导体设备及材料增长动力与半导体行业需求同频共振 [1] - 半导体材料设备行业精选40只深度覆盖半导体材料与设备领域的上市公司证券作为样本 [1] - 指数成分股汇聚国产替代龙头企业：北方华创、中微公司在刻蚀设备领域实现技术突破，沪硅产业、南大光电在硅片、电子化学品等关键材料环节打破海外垄断 [1] 产品信息 - 半导体材料ETF（562590）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数 [1] - 场外联接基金包括华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A（020356）和联接C（020357） [2]