公司融资计划 - 公司拟向特定对象发行股票募集资金总额为31.32亿元 [1] - 募集资金将用于"半导体设备研发项目"和补充流动资金 [1] 资金用途 - 半导体设备研发项目是本次募资的主要投向 [1] - 部分资金将用于补充公司流动资金 [1]