公司概况 - 公司名称为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(简称:中科仪),主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务 [1] - 公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商 [1] - 产品主要应用于集成电路晶圆制造、光伏电池等泛半导体产品制造,以及国家重大科技基础设施和科研领域 [1] 技术优势与市场地位 - 在干式真空泵领域打破欧美及日本企业的长期垄断,产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND等存储器工艺的生产需要 [1] - 是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业,唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业 [2] - 产品已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用,包括中芯国际、长江存储、华虹集团等国内主流晶圆制造企业 [1] - 产品已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证并实现小批量出货 [1] - 在真空科学仪器设备领域,公司承担了11项国家重大科技基础设施的建设工作 [2] 财务数据 - 2022-2024年营业收入分别为6.98亿元、8.52亿元、10.82亿元 [2] - 2022-2024年净利润分别为4.98亿元、6亿元、1.93亿元 [2] IPO募资计划 - 拟募资8.52亿元 [2] - 募投项目包括: - 干式真空泵产业化建设项目:形成年产20,040台干式真空泵的生产能力 [3] - 高端半导体设备扩产及研发中心建设项目:扩产H系列干式真空泵及少量涡旋泵 [3] - 新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目:研发超高速节能泵、超高温泵等新产品 [4] 产能扩张计划 - 干式真空泵产业化建设项目将实现物流移动50%自动化,加工产线90%以上的自动化及智能化 [3] - 高端半导体设备扩产项目将生产H系列干式真空泵,主要用于刻蚀、PVD、CVD等集成电路制造工艺 [3] 研发方向 - 新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目将针对半导体领域研发超高速节能泵、超高温泵等产品 [4] - 同时面向泛半导体、工业真空、仪器制造、科学研究等市场开发大抽速干式螺杆真空泵及罗茨螺杆真空泵机组 [4] - 项目将建设数字化管理平台,对产品研发及相关业务进行一体化管理 [4]
【IPO一线】中科仪北交所IPO获受理 募资8.522亿元投建高端半导体设备等项目
巨潮资讯·2025-07-01 13:53