指数表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数下跌0 53% 成分股涨跌互现 和林微纳领涨3 10% 明志科技上涨1 87% 沪硅产业上涨1 55% 安集科技领跌2 02% 芯源微下跌1 55% 先锋精科下跌1 42% [1] - 科创半导体ETF（588170）下跌0 69% 最新报价1 01元 近1月累计上涨5 86% 涨幅排名可比基金1/2 [1] 资金流向 - 科创半导体ETF近4天获得连续资金净流入 最高单日净流入1621 47万元 合计净流入2438 09万元 日均净流入609 52万元 [1] 行业分析 - 国内晶圆厂建设潮及美国加大对华出口管制推动光刻机国产化需求 人工智能发展提升先进制程产能需求 光刻机购置成本占设备总投资21%-23% [1] - 半导体设备和材料行业是重要国产替代领域 国产化率较低 国产替代天花板较高 受益于AI需求扩张 科技重组并购及光刻机技术进展 [2]