指数表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0 88% [1] - 成分股拓荆科技(688072)上涨4 86% 神工股份(688233)上涨3 44% 中微公司(688012)上涨2 28% 富创精密(688409)上涨1 19% 欧莱新材(688530)上涨1 12% [1] - 科创半导体ETF(588170)上涨0 79% 最新价报1 02元 [1] ETF流动性 - 科创半导体ETF盘中换手15 4% 成交3981 51万元 [1] - 近1月日均成交4271 52万元 [1] ETF规模与份额 - 科创半导体ETF近1周规模增长2504 59万元 新增规模位居可比基金1/2 [1] - 近1周份额增长2800 00万份 新增份额位居可比基金1/2 [1] 资金流向 - 科创半导体ETF近5天连续资金净流入 合计3042 52万元 日均净流入608 50万元 [1] - 最高单日净流入1621 47万元 [1] 跟踪精度 - 科创半导体ETF近1月跟踪误差为0 022% 在可比基金中跟踪精度最高 [2] 行业背景 - 半导体设备和材料行业是国产替代重要领域 国产化率较低 国产替代天花板较高 [2] - 受益于人工智能革命下的半导体需求扩张 科技重组并购浪潮 光刻机技术进展 [2] 指数成分 - 上证科创板半导体材料设备主题指数前十大权重股合计占比72 71% [2] - 前三大权重股为华海清科(3 08%) 中微公司(2 95%) 沪硅产业(2 95%) [2][4] - 拓荆科技权重2 94% 当日涨幅4 86% [1][4]