股价表现 - 截至2025年8月4日15时，公司股价报25 15元，较前一交易日上涨0 60% [1] - 当日成交额1 76亿元，换手率1 84% [1] 主营业务 - 公司主营业务为高纯工艺系统及半导体设备的研发、生产和销售 [1] - 产品广泛应用于集成电路、光伏、LED等领域 [1] - 所属板块包括专用设备、上海板块、合成生物等 [1] 公司动态 - 截至2025年7月末，公司累计回购股份约278万股，占总股本的0 73% [1] - 回购金额达6937 65万元 [1] 资金流向 - 8月4日主力资金净流出1121 35万元 [1] - 近五日主力资金累计净流出9077 91万元 [1]