公司专利技术 - 江苏微导纳米科技股份有限公司申请了一项名为"一种半导体生产设备及其控制方法、控制装置"的专利 公开号为CN120443149A 申请日期为2025年05月 [1] - 专利技术涉及半导体生产设备的控制方法 通过获取基片的实测膜层厚度d和设计膜层厚度d0的差值 得到实测膜层厚度差△d [1] - 方法还包括获取反应腔室内的实测温度T 计算实测温度T和设计温度T0的差值 得到实测温差△T [1] - 根据实测温差△T计算受温度影响而产生的第一膜层厚度差△d1 并进一步计算第二膜层厚度差△d2 [1] - 最终根据第二膜层厚度差△d2计算下一生产周期中工艺气体的流量调节值△Q1 [1] 公司基本情况 - 江苏微导纳米科技股份有限公司成立于2015年 位于无锡市 是一家以从事专用设备制造业为主的企业 [2] - 公司注册资本为45767.8129万人民币 [2] - 公司共对外投资了2家企业 参与招投标项目47次 [2] - 公司拥有商标信息89条 专利信息527条 行政许可68个 [2]