路维光电股价上涨2.84% 半导体光刻技术研发取得进展
股价表现 - 截至2025年8月14日15时股价报42.66元 较前一交易日上涨1.18元 涨幅2.84% [1] - 当日成交额达4.85亿元 换手率为9.69% [1] 主营业务与技术布局 - 主营业务为半导体掩膜版的研发与生产 涉及半导体/玻璃基板/专精特新等概念 [1] - 在电子束光刻/干法制程等技术领域持续投入 针对90nm/40nm等制程节点开展研究 [1] 行业技术动态 - 全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"进入应用测试 精度比肩国际主流设备 [1] - 公司在半导体掩膜版领域的技术研发与设备应用受到市场关注 [1] 资金流向 - 8月14日主力资金净流入5688.68万元 [1] - 近五日累计主力资金净流入9452.07万元 [1]