资金流向与ETF表现 - 半导体设备ETF（159516）盘中净流入900万份，显示资金积极配置半导体设备资产 [1] - 该ETF规模达33.35亿元，在6只同类产品中排名第一 [2] 国产化现状与趋势 - 2024年半导体设备上市公司营收占国内设备销售额（不含进口光刻机）比重为22.4% [1] - 半导体材料国产化率为30.7%，仍处于较低水平 [1] - 行业通过持续研发投入推动国产替代稳步推进 [1] 指数结构与投资标的 - 半导体设备ETF跟踪中证半导体材料设备指数（931743），覆盖A股半导体材料与设备制造企业 [1] - 指数成分涵盖硅片、光刻胶、刻蚀机等核心材料和设备供应领域 [1] - 无股票账户投资者可通过联接基金（019632/019633）参与投资 [1]