募集资金基本情况 - 公司首次公开发行人民币普通股(A股)股票31619800股 发行价格为每股7188元 募集资金总额为2275973万元[1] - 天健会计师事务所于2022年4月14日出具验资报告确认资金到位 公司对募集资金实行专户存储管理[2] 募集资金投资项目 - 先进半导体设备的技术研发与改进项目及高端半导体设备产业化基地建设项目为承诺投资项目 总投资额27802965万元 其中承诺投资额19485625万元[4] - 2024年度公司使用部分超募资金1972729万元(含交易佣金等中介费用)回购公司股份[4] 上海二厂项目情况 - 项目通过建设研发与产业化基地开展先进ALD设备及工艺研发 截至2025年6月30日已完成建设并投入使用[4] - 项目调整后投资总额8800000万元 实际投入超募资金6936711万元 产生待支付募集资金1328985万元及利息收入净额32222万元[5] - 预计节余金额为856524万元 主要源于项目费用控制及现金管理收益[5][6] 超募资金使用情况 - 首次公开发行募集资金净额2275973万元 超募资金总额11273008万元[6] - 2022年10月经股东大会批准使用超募资金投资新项目及向子公司增资[6] - 2024年3月经股东大会批准调减上海二厂项目募集资金500000万元转投高端半导体设备产业化基地建设项目[6] - 截至2025年8月14日剩余超募资金6118万元(含回购计划剩余本金271万元及利息5847万元)[7] 资金使用计划 - 上海二厂项目剩余尾款将用节余募集资金支付 完成后将专户剩余资金永久补充流动资金[6] - 剩余超募资金6118万元将永久补充流动资金用于日常生产经营[8] - 资金转出后将办理募集资金专户销户手续 涉及中信银行两个专户[8] 合规性说明 - 本次补充流动资金金额占超募资金总额比例未超30% 符合《上市公司监管指引第2号》相关规定[9] - 公司承诺12个月内补充流动资金金额不超过超募资金总额30% 且不进行高风险投资[10] 审议程序 - 该事项已经董事会、监事会审议通过 尚需提交股东大会批准[10][11] - 保荐机构招商证券对项目结项及资金补充方案无异议[12]