核心财务表现 - 2025年上半年营业收入49.61亿元 同比增长43.88% [1] - 归属于母公司净利润7.06亿元 同比增长36.62% [1] - 研发投入14.92亿元 同比增长53.7% 研发费用率30.07% 显著高于科创板10%-15%的平均水平 [1] - 对外股权投资产生收益1.68亿元 较2024年同期亏损0.08亿元改善1.76亿元 [1] 刻蚀设备业务 - 刻蚀设备销售收入37.81亿元 同比增长40.12% 占总收入75%以上 [1][2] - 技术覆盖95%以上刻蚀应用 延伸至5纳米及更先进制程 [2] - 高端产品在先进逻辑和存储器件关键刻蚀工艺实现大规模量产 [1] 薄膜沉积设备业务 - LPCVD设备销售收入1.99亿元 同比增长608.19% [1][3] - ALD设备系列产品通过多个先进逻辑客户验证 薄膜性能达世界先进水平 [3] - 钨系列产品通过关键存储客户端量产验证并获批量订单 [3] 技术研发与产品布局 - 新产品开发周期缩短至两年内 在研项目覆盖六大类设备二十余款新品 [2] - 研发项目包括新一代CCP/ICP刻蚀设备、薄膜沉积设备、外延设备及量检测设备 [2] - MOCVD设备在氮化镓基LED市场保持领先 并拓展至碳化硅、氮化镓功率器件等新兴领域 [3] 产能扩张与基地建设 - 上海临港和南昌高新区生产基地产能稳步提升 [4] - 临港10万平方米总部研发大楼预计2025年底建成 [4] - 启动广州增城区和成都高新区新研发生产基地建设 [4] 行业前景与战略规划 - SEMI预测2025年全球半导体设备市场规模达1210亿美元 2026年将增长至1390亿美元 [4] - 公司计划通过有机生长和外延扩展覆盖半导体高端设备50%-60%市场 [3] - 长期愿景成为全球第一梯队半导体设备公司 [4]