指数及ETF表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数（950125）下跌3.42% [1] - 科创半导体ETF（588170）下跌3.55% 最新报价1.17元 [1] - 成分股中华峰测控领跌7.49% 芯源微下跌5.82% 中微公司下跌5.59% 沪硅产业下跌5.20% 京仪装备下跌3.90% [1] 资金流向 - 科创半导体ETF近4天连续资金净流入 合计净流入9554.73万元 [1] - 最高单日净流入4155.78万元 日均净流入达2388.68万元 [1] 产品结构 - 科创半导体ETF跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 覆盖半导体设备（59%）和半导体材料（25%）领域 [1] - 半导体材料ETF（562590）同样聚焦半导体设备（59%）与半导体材料（24%）上游环节 [1] 行业特征 - 半导体设备与材料行业国产化率较低 具备高国产替代天花板属性 [1] - 行业受益于人工智能驱动的半导体需求扩张 科技重组并购浪潮及光刻机技术进展 [1]