指数表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.71% [1] - 成分股天岳先进上涨5.71% 和林微纳上涨3.75% 华兴源创上涨1.83% 艾森股份上涨1.56% 明志科技上涨1.33% [1] - 科创半导体ETF（588170）上涨0.71% 最新价报1.14元 [1] 资金流向 - 科创半导体ETF近5天获得连续资金净流入 最高单日净流入4155.78万元 [1] - 合计净流入1.09亿元 日均净流入达2188.34万元 [1] 产品结构 - 科创半导体ETF及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [1] - 指数覆盖半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域 [1] - 半导体材料ETF（562590）指数中半导体设备占比59% 半导体材料占比24% [1] 行业特征 - 半导体设备和材料行业属于国产替代领域 具备国产化率较低属性 [1] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张 [1] - 科技重组并购浪潮和光刻机技术进展推动行业发展 [1]