指数表现与成分股 - 上证科创板半导体材料设备主题指数截至9月5日9:48上涨0.86% [1] - 成分股天岳先进上涨5.71% 和林微纳上涨3.50% 华兴源创上涨2.49% 中船特气上涨1.75% 艾森股份上涨1.43% [1] ETF市场数据 - 科创半导体ETF（588170）上涨0.80% 最新价报1.14元 [1] - 该ETF盘中换手率2.5% 成交额1318.69万元 [1] - 近2周规模增长1.19亿元 最新份额达4.65亿份 [1] - 近5天连续资金净流入 合计1.09亿元 单日最高净流入4155.78万元 日均净流入2188.34万元 [1] 行业动态与产品进展 - 中微公司推出六款半导体设备新产品 包括两款刻蚀设备和四款薄膜沉积设备 [1] - 五矿证券指出高端光刻胶、掩膜版、先进封装材料、前驱体、三/四代半导体国产化率较低 在产业链自主可控中角色重要 市场空间可观 [1] ETF投资标的构成 - 科创半导体ETF（588170）及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 覆盖半导体设备（59%）和半导体材料（25%）领域 [2] - 半导体材料ETF（562590）及其联接基金同样聚焦半导体上游 半导体设备占比59% 半导体材料占比24% [2] 行业属性与驱动因素 - 半导体设备和材料行业具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性 [2] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展 [2]