指数表现与ETF动态 - 上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.53%至2025年9月10日13点17分 [1] - 成分股安集科技上涨2.31% 天岳先进上涨2.10% 盛美上海上涨1.65% 中芯国际上涨1.42% 中微公司上涨1.28% [1] - 科创半导体ETF（588170）上涨0.52%报1.15元 盘中换手率9.93% 成交额5885.30万元 [1] - ETF规模达5.91亿元创成立新高 份额5.15亿份创近3月新高 [1] - 近8天连续资金净流入合计1.67亿元 日均净流入2090.30万元 单日最高净流入4618.45万元 [1] 行业并购与市场观点 - 聚和材料拟与韩投伙伴设立SPC以680亿韩元（约3.5亿元人民币）收购SK Enpulse旗下空白掩模业务板块 [2] - 收购标的为SKC子公司SKE通过分立设立的新公司Lumina Mask 100%股权 [2] - 平安证券认为半导体材料行业库存去化趋势向好 终端基本面回暖 周期上行与国产替代共振 [2] - 行业供需关系改善 景气度回升 国产替代进程持续推动复苏 [2] ETF产品结构 - 科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 覆盖半导体设备（59%）和材料（25%）领域 [3] - 半导体材料ETF（562590）同样聚焦半导体设备（59%）和材料（24%）上游环节 [3] - 行业具备国产化率低、替代天花板高属性 受益于AI需求扩张、科技并购及光刻机技术进展 [3]