融资计划 - 公司拟向不超过35名特定对象发行A股股票 [1] - 募集资金总额不超过46亿元 [1] 资金用途 - 扣除发行费用后拟用于高端半导体设备产业化基地建设项目 [1] - 前沿技术研发中心建设项目 [1] - 补充流动资金 [1]