市场表现 - 国产替代概念午后暴涨，半导体设备ETF（159516）上涨近5%，盘中资金流入近2亿份 [1] - 半导体设备ETF（159516）规模超过40亿元，达到43.28亿元，在同类6只产品中排名第一 [1][2] 行业核心瓶颈 - 光刻机是半导体制造工艺中技术壁垒最高的设备，涉及光学、精密机械、材料等多学科复杂技术融合，国产化突破难度位居各类半导体设备之首 [1] - 光刻机领域的国产替代率几乎无限接近于0，是制约国内半导体产业向更高工艺节点迈进的核心瓶颈 [1] 国产替代进程 - 自2018年国内半导体产业开启自主可控进程以来，行业实现了高速成长 [1] - 在蚀刻机、薄膜沉积等关键设备环节，当前国产化率仍低于20% [1] - 国内企业正凭借技术研发突破逐步实现从0到1的跨越，持续抢占海外厂商市场份额 [1] 投资工具概况 - 半导体设备ETF（159516）跟踪半导体材料设备指数（931743），该指数聚焦于半导体产业链上游的材料与设备领域 [2] - 指数选取涉及半导体材料供应及设备制造的上市公司证券作为样本，覆盖具有高技术壁垒和成长性特征的细分领域 [2] - 对于没有股票账户的投资者，可关注其联接基金国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632）和联接C（019633） [2]