市场表现 - A股三大指数震荡上行，半导体设备板块领涨市场 [1] - 科创半导体设备ETF（588710）涨9.81%，成交额超2.57亿元，居全市场涨幅榜前五 [1] - 成分股神工股份涨停，盛美上海、华海清科、安集科技等多股跟涨 [1] 产品与指数 - 科创半导体设备ETF（588710）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [1] - 该指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本 [1] 行业技术突破 - 上海微电子在第二十五届中国国际工业博览会上首次公开亮相极紫外光刻机参数图 [1] - 国产光刻机在90nm及以下工艺节点取得重要进展，上海微电子600系列光刻机已实现90nm工艺量产 [2] - 28nm浸没式光刻机的研发工作正在进行中 [2] - 宇量昇与中芯国际的合作测试是国产光刻机突破的重要信号 [2] 产业链影响 - 光刻机技术突破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级 [2] - 加速光刻胶、光学部件等"卡脖子"材料的国产化进程 [2] - 形成"龙头带动、多点突破"的产业升级格局 [2]