文章核心观点 - 半导体设备及材料领域在芯片涨价潮和国产替代加速的背景下受到资金重点关注，相关ETF交投活跃，规模显著增长 [1] - 半导体产业链上游的设备和材料环节因国产化率低，在自主可控进展和潜在订单拐点下，存在业绩与估值双重提升的潜力 [1] - 科创半导体设备ETF（588710）作为跟踪半导体材料设备主题指数的工具，因其聚焦科创板硬科技公司而具备独特性和高波动性 [1] 半导体设备ETF市场表现 - 科创半导体设备ETF（588710）于2025年9月24日全天成交额达3.88亿元，环比大增超213% [1] - 该ETF当日资金净流入额达1.97亿元，单日成交额和净流入额均创其成立（2025年5月26日）以来历史新高 [1] - 截至2025年9月24日，该ETF最新份额达3.94亿份，最新规模达6.01亿元，较2025年8月31日的1.70亿元，9月以来规模增幅达254% [1] 半导体行业基本面利好 - 半导体产业国产替代步伐加速，具体表现为多家科技龙头入局芯片研发、昇腾AI芯片迭代、国产GPU龙头IPO审议在即以及国产光刻机取得重要进展 [1] - 东吴证券指出，国内先进逻辑扩产超预期，存储领域按技术迭代周期预计明年将迎来新周期 [1] - 大基金三期成立及国产DRAM内存龙头启动上市，有望进一步提升国内先进制程的良率和产能 [1] 相关ETF产品特点 - 科创半导体设备ETF（588710）跟踪的上证科创板半导体材料设备主题指数高度聚焦半导体设备和材料两大上游领域 [1] - 该指数选股范围专注于科创板，区别于部分覆盖沪深两市的半导体类指数，旨在放大硬科技成色 [1] - 基金管理人华泰柏瑞基金拥有超18年ETF运营经验，旗下沪深300ETF（510300）规模为4179.46亿元，为A股市场规模居首的ETF [1][2] - 华泰柏瑞基金是业内首批集齐科创板四大宽基ETF产品的管理人 [1]