研究突破 - 国际合作团队提出间歇性旋涂化学液相沉积新方法，用于制备非晶态沸石咪唑酯骨架薄膜，实现薄膜沉积速率和厚度的可控[1] - 研究团队利用新方法制备了锌/2-甲基咪唑、锌/苯并咪唑、锌/4,5-二氯咪唑和钴/2-甲基咪唑等多种aZIF薄膜[1] - 该研究成果已发表于《自然-化学工程》期刊[1] 技术验证与应用 - 研究团队对aZIF薄膜作为正型光刻胶和负型光刻胶的图案化性能进行了测试，并验证了其在下一代光刻技术中应用的可行性[1] - 研究进行了电子束光刻和超越极紫外光刻验证[1] - 实现aZIF薄膜的大面积、高精度可控制备对相关领域的先进光刻工艺具有重要意义[1] 技术原理 - 在前期基于超稀释前驱体溶液策略基础上，研究团队提出了制备aZIF薄膜的新方法[1] - 通过系列实验和仿真，研究团队得到了薄膜沉积的本征速率，并揭示了薄膜沉积均匀性的关键影响因素[1]