资金流向与ETF表现 - 半导体设备ETF（159516）实时盘中流入6.3亿份，净流入4.49亿份，显示资金正积极抢筹半导体设备资产 [1] - 半导体设备ETF（159516）跟踪半导体材料设备指数（931743），该指数聚焦于半导体产业链上游的材料与设备领域 [1] - 无股票账户的投资者可关注国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632）和联接C（019633） [1] 行业现状与国产化挑战 - 中国光刻机需求量较大，但国产化率极低，长期在高端光刻机领域面临"卡脖子"困境 [1] - 华鑫证券表示，后续光刻机技术突破有望带动上游材料、精密机械等配套产业升级 [1] - 技术突破将加速光刻胶、光学部件等"卡脖子"材料的国产化进程，形成"龙头带动、多点突破"的产业升级格局 [1] 指数构成与投资价值 - 半导体材料设备指数（931743）从市场中选取涉及半导体材料供应及设备制造的上市公司证券作为指数样本 [1] - 该指数覆盖具有高技术壁垒和成长性特征的细分领域，是反映半导体产业关键环节相关企业整体表现的重要参考指标 [1]