行业动态与市场表现 - 半导体制造核心环节光刻机赛道走热 国产产业链相关标的在二级市场热度空前 A股光刻机产业链标的波动[1] - 光刻机概念涨势如虹 龙头张江高科涨停并创历史新高 江丰电子涨超17% 多只相关股票涨超5%[2] - 张江高科通过子公司投资上海微电子22345万元 持有上海微电子10.779%的股权[2] 上海微电子技术进展 - 上海微电子在工博会首次公开亮相极紫外投影微场曝光装置 并披露部分技术内容[1] - 上海微电子为国产光刻机绝对龙头 出货量占国内市场份额超过80% 产品涉及ArF KrF和i-line领域 具备90nm及以下芯片制造能力[7] - 上海微电子已量产光刻机包括SSX600 SSX500等系列 SSX600系列采用四倍缩小倍率投影物镜等关键技术[7] 全球光刻机市场格局 - 光刻机是芯片制造中最复杂设备 核心包括光源系统 照明系统/投影光学系统及双工件台 由数万至十万多个零件构成[5] - 全球市场阿斯麦独占鳌头 为唯一一线供应商 占据全球八成以上市场 垄断最高端EUV市场[5] - 阿斯麦2025年二季度净销售额77亿欧元 同比增长23% 光刻机系统销售收入56亿欧元 其中EUV销售额27亿欧元 非EUV销售额29亿欧元 当季售出EUV 11台 DUV 64台[5] - 日本光刻机双雄尼康 佳能市场份额在个位数徘徊 出货以成熟制程设备为主[6] 国产化现状与产业链 - 光刻机国产化率仅2.5% 出口管制阴影下光刻机供给不确定性上升 走向自主可控已无可回避[4][7] - 中国大陆芯片产线无法买到阿斯麦生产的EUV 市场对国产光刻机产业链实现突破期望急剧升温[8] - 国内光刻机产业链包括上游设备及配套材料 中游光刻机系统集成和生产 以及下游光刻机应用三大环节[9] - 光刻机产业链中技术积累较深或已进入阿斯麦/上海微电子供应链的厂商包括富创精密 炬光科技 福晶科技等多家公司[10] 细分领域技术储备与公司动态 - 我国在光刻机各细分技术领域均有储备 科益虹源研发248nm准分子激光器 福晶科技研发KBBF晶体 国望光学研发光刻机曝光光学系统[11] - 多家A股上市公司披露在光刻机或半导体领域的关联布局 如国林科技电子级超纯臭氧气体发生器取得小批量订单 南京化纤为光刻机等设备提供配套[11][12] - 波长光电部分产品可应用于半导体设备 捷众科技客户为光刻机提供超洁净流体处理设备[12]