行业热度与市场表现 - 半导体制造核心环节光刻机赛道走热 国产产业链相关标的在二级市场热度空前 A股光刻机产业链标的波动吸引市场目光 [2] - 光刻机概念涨势如虹 概念龙头张江高科涨停且股价创历史新高 江丰电子涨超17% 多只相关股票涨超5% [3] - Wind光刻机指数近一年涨幅近130% 并在9月24日创下阶段新高 [3] 主要参与者与市场格局 - 上海微电子为国产光刻机绝对龙头 是中国第一家也是唯一一家光刻机厂商 出货量占国内市场份额超过80% 产品涉及ArF KrF和i-line领域 具备90nm及以下芯片制造能力 [10] - 全球市场由阿斯麦独占鳌头 为唯一一线供应商 占据全球八成以上市场 垄断最高端EUV市场 [8] - 阿斯麦2025年二季度净销售额为77亿欧元 同比增长23% 净利润为23亿欧元 同比增长45% 当季光刻机系统销售收入56亿欧元 其中EUV销售额27亿欧元 售出EUV 11台 DUV 64台 [8] - 日本光刻机厂商尼康和佳能市场份额仅在个位数徘徊 两者出货以成熟制程设备为主 [9] 技术进展与国产化现状 - 上海微电子在工博会首次公开亮相极紫外投影微场曝光装置并披露部分技术内容 [2] - 光刻机国产化率仅2.5% 高端光刻机技术受制于国外供应商 产能和产量仍然受限 [10][13] - 江丰电子研发的半导体用多层薄壁钛合金扩散焊接项目用于制备28nm以下节点光刻机核心冷却部件 已进入量产阶段 有望切入光刻机设备核心部件领域 [6] - 光刻机是芯片制造中最复杂设备 核心包括光源系统 照明系统/投影光学系统以及双工件台 每个系统由数万甚至十万多个零件构成 [8] 产业链与相关公司布局 - 张江高科通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资上海微电子22345万元 持有上海微电子10.779%的股权 [5] - 光刻机产业链卡脖子环节中 技术积累较深或已进入阿斯麦/上海微电子等供应链的厂商包括芯碁微装 富创精密 炬光科技 赛微电子 波长光电等多家公司 [14] - 国内在光刻机各细分技术领域均有储备 例如科益虹源研发248nm准分子激光器 国望光学研发90nm节点ArF光刻机曝光光学系统等 [15] - 多家A股上市公司披露在光刻机或半导体领域的关联布局 例如国林科技 南京化纤 波长光电 捷众科技等 [16][17]