指数及成分股表现 - 截至9月30日13:19，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.46% [1] - 指数成分股神工股份上涨13.63%，晶升股份上涨10.12%，芯源微上涨5.68%，中芯国际上涨3.07% [1] - 科创半导体ETF（588170）上涨1.39%，盘中溢价频现，买盘活跃 [1] - 截至9月29日，科创半导体ETF近1周累计上涨15.52% [1] 科创半导体ETF资金情况 - 科创半导体ETF最新规模达26.04亿元，创成立以来新高 [1] - 科创半导体ETF近9天获得连续资金净流入，合计"吸金"17.21亿元 [1] - 最高单日获得6.32亿元净流入，日均净流入达1.91亿元 [1] 科创半导体ETF投资主题 - 科创半导体ETF（588170）及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [1] - 指数囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司 [1] - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性 [1] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展 [1]