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广东唯一光刻机量产项目落地佛山 ABM拟三年内实现年产百台套
21世纪经济报道·2025-09-30 22:51

项目概况 - ABM公司与佛山市签约 在佛山顺德区北滘镇建设年产百台套光刻机及先进封装核心设备生产基地 项目首期将生产光刻机 涂胶显影设备及晶圆键合机等核心设备 规划三年内实现年产百台套目标 [1] - ABM总部位于中国香港 在半导体光刻设备领域有超过20年经验 掌握超过2000项光刻机关键零部件专有技术 已向全球超300家客户累计交付近1000台设备 [1] 战略意义与产业协同 - 项目是佛山实施强链补链战略的关键举措 有望带动本地精密加工 高端光学元件 智能控制系统等上下游配套协同发展 构建以装备促制造 以制造带研发的良性循环 [3] - 佛山作为粤港澳大湾区重要制造基地 拥有深厚工业基础和成熟精密制造能力 尤其在机械加工 光学元件 控制系统等领域积累深厚 与光刻机制造需求高度契合 [2] - 佛山将半导体及集成电路产业作为战略性新兴产业重点培育 已初步构建覆盖材料 设计 制造 封测 装备等环节的完整产业链 全市集聚规模以上半导体企业336家 产业规模突破900亿元 [2] 发展目标与规划 - 佛山力争实现半导体光刻装备产业五年内规模达40亿元 十年突破100亿元目标 加快建设粤港澳大湾区半导体及集成电路研制重要基地 [3] - ABM希望借助佛山作为内地与港澳合作桥头堡的区位优势 利用其国际化合作资源 推动技术 资本 人才跨境流动 形成国际化合作和国产化融合的创新路径 [2]