指数与ETF市场表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数下跌3.76% [1] - 科创半导体ETF（588170）下跌3.91%至1.5元，盘中换手率达23.71%，成交6.51亿元，规模达28.09亿元创成立以来新高 [1] - 科创半导体ETF近2周份额增长2.34亿份，近4个交易日有3日资金净流入，合计流入9.79亿元，日均净流入2.45亿元，但最新单日资金净流出6605.50万元 [1] 成分股表现 - 中芯国际领跌6.77%，沪硅产业下跌6.45%，天岳先进下跌6.23%，中微公司下跌5.89%，安集科技下跌5.49% [1] 行业技术进展与产品发布 - 阿里云发布磐久128超节点AI服务器，集成自研CIPU 2.0芯片，推理性能较传统架构提升50% [2] - 华为CloudMatrix 384超节点已销售300余套，服务20余家客户，并计划于2026年四季度推出算力规模8192卡的Atlas 950 SuperPoD，2027年四季度推出算力规模15488卡的Atlas 960 SuperPoD [2] - 芯上微装截至3Q25已交付超500台先进封装用步进光刻机，全球市占率35%，国内市占率90%，并于9月发布多款光刻机新品 [3] 行业瓶颈与国产替代前景 - 算力芯片放量瓶颈在于先进制造产能，其瓶颈又在于良率培养与核心主设备供应，光刻机为前道设备核心技术瓶颈 [3] - 国内光刻机等核心主设备厂商技术突破，有望在前道光刻、刻蚀与薄膜沉积等过程逐步实现自主可控，为下游先进代工厂打开产能释放空间 [3] 相关ETF产品概况 - 科创半导体ETF（588170）跟踪指数囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）公司 [3] - 半导体材料ETF（562590）指数中半导体设备（59%）和半导体材料（24%）占比靠前 [4] - 半导体设备和材料行业国产化率较低、国产替代天花板较高，受益于AI半导体需求扩张、科技重组并购及光刻机技术进展 [3]