指数及ETF市场表现 - 截至2025年10月14日09点55分，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌1.05% [1] - 成分股神工股份领涨2.91%，天岳先进上涨2.08%，新益昌上涨1.92% [1] - 成分股富创精密领跌5.82%，先锋精科下跌3.76%，芯源微下跌3.73% [1] - 科创半导体ETF（588170）下跌1.35%，最新报价1.54元，盘中换手10.32%，成交3.14亿元 [1] - 科创半导体ETF（588170）最新规模达30.41亿元，最新份额达19.55亿份，均创成立以来新高 [1] - 科创半导体ETF（588170）最新资金净流入6960.40万元，近4个交易日内有3日资金净流入，合计净流入3.47亿元，日均净流入达8671.36万元 [1] 行业分析与国产替代前景 - 刻蚀、薄膜沉积设备等已有相应国产突破，但先进制程所需关键设备国产化率仍有较大提升空间，例如光刻机国产化率为0、刻蚀和薄膜沉积设备国产化率也仅为20%左右 [2] - 伴随关键设备的国产突破，先进制程扩产有望加速 [2] - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性 [2] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展 [2] 相关ETF产品信息 - 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司 [2] - 半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357）指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游 [5] 潜在行业催化剂 - 新凯来及其子公司将在2025湾区半导体产业生态博览会上带来惊喜，鉴于其在3月份上海展会上一次性推出31款设备的表现，此次或有更多关键半导体设备的重磅发布或技术突破 [1]