指数及成分股表现 - 截至2025年10月16日13点53分，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌1.35% [1] - 成分股中巨芯领涨5.57%，神工股份上涨2.81%，耐科装备上涨2.06% [1] - 成分股芯源微领跌3.81%，沪硅产业下跌3.66%，先锋精科下跌3.53% [1] - 科创半导体ETF（588170）下跌1.31% [1] ETF流动性及规模 - 科创半导体ETF盘中换手率达12.63%，成交额为4.30亿元，市场交投活跃 [1] - 科创半导体ETF最新规模达34.17亿元，创成立以来新高，在同类产品中领先 [1] 技术突破与行业前景 - 清华大学电子工程系团队成功研制出全球首款亚埃米级快照光谱成像芯片"玉衡"，标志着智能光子技术在高精度成像测量领域达到新高度 [1] - 海外先进制造与先进封装代工产能难以获取，国产算力产业链处于追赶状态，关键环节呈现"强需求、弱供给"格局 [1] - 在传统半导体国产化已有基础之上，先进制程、先进存储、先进封装、核心设备材料、EDA软件的国产化仍有较大提升空间 [1] - 人工智能需求增量及国产化进展值得关注 [1] ETF投资标的构成 - 科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，其成分涵盖半导体设备（61%）和半导体材料（23%）领域的硬科技公司 [2] - 半导体材料ETF（562590）同样聚焦半导体上游，指数中半导体设备占比61%，半导体材料占比21% [2] - 半导体设备和材料行业具备国产化率较低、国产替代天花板较高的属性，受益于人工智能驱动的半导体需求扩张及技术进展 [2]