存储技术变革背景 - 人工智能、自动驾驶、物联网等新兴应用对存储器的速度、能耗与稳定性提出更高要求，传统存储体系面临多重挑战 [1] - 传统基于电荷存储的技术（如SRAM、DRAM、闪存）在技术节点突破10纳米后，面临可扩展性受限、性能提升困难、可靠性下降等严峻挑战 [2] - 新型非易失性存储技术需兼具DRAM的高速响应能力和闪存的非易失性特征，同时大幅降低功耗 [2] SOT-MRAM技术优势 - SOT-MRAM利用自旋轨道力矩效应实现数据写入与擦除，具备高速写入、高能效和高可靠性三大核心优势 [3][4][5] - 切换速度达到1纳秒级别，几乎可与SRAM媲美，同时保留非易失性优势，数据保持时间可超过10年 [2][13][14] - 三端结构设计将读写电流路径完全分离，解决了耐久性问题和磁性隧道结电阻限制，显著降低能耗 [4][14] - 隧穿磁阻比高达146%，表明MgO与Co₄₀Fe₄₀B₂₀之间形成高质量界面，提供稳定读取裕量 [1][14] 关键技术突破 - 研究团队通过插入超薄钴层形成复合结构，成功解决β相钨材料在半导体制造热处理条件下的相变难题 [7][9] - 复合钨结构可在400°C下维持物相稳定长达10小时，甚至耐受700°C高温30分钟，而传统单层钨在400°C下仅10分钟即发生相变 [9] - 该结构自旋霍尔电导率约为4500 Ω⁻¹·cm⁻¹，阻尼类扭矩效率约0.61，确保了高效的磁化翻转性能 [9] 性能验证与产业化进展 - 成功制备出64千位SOT-MRAM原型阵列，在1纳秒切换时间下的临界电流密度为48.0兆安/平方厘米，在10纳秒下为34.1兆安/平方厘米 [13] - 器件热稳定性参数Δ约为116，数据保持能力出色，可满足非易失性存储的严格要求 [14] - 设计已考虑与现有半导体后端工艺的兼容性，为大规模量产铺平道路，并计划进一步扩展至兆比特级集成 [14][15] 行业应用前景 - SOT-MRAM有望替代高速缓存级别的SRAM，成为AI加速器的片上缓存，显著降低系统能耗 [6][15] - 其非易失性特性对电池供电的物联网终端尤为有利，设备可快速启停而不丢失数据 [15] - 或将推动传统“SRAM缓存—DRAM主存—闪存外存”三级架构的重构，简化系统架构并提升效率 [15] - 为“存算一体”等新型计算架构提供可行性，有助于突破传统冯·诺依曼结构的“存储墙”瓶颈 [16]