指数及成分股表现 - 截至10月23日10:38，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌0.45% [1] - 成分股拓荆科技领涨3.88%，新益昌上涨3.21%，盛美上海上涨1.5% [1] - 成分股神工股份领跌5.82%，晶升股份下跌3.11%，华海诚科下跌3.02% [1] - 跟踪该指数的科创半导体ETF（588170）下跌0.51% [1] ETF流动性与规模 - 科创半导体ETF（588170）盘中换手率为4.44%，成交额为1.68亿元 [1] - 截至10月22日，该ETF近1月日均成交额为7.11亿元，领先同类产品 [1] - 科创半导体ETF（588170）最新规模达38.14亿元，创成立以来新高 [2] 指数及ETF构成 - 上证科创板半导体材料设备主题指数囊括科创板中半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的公司 [2] - 半导体材料ETF（562590）的指数构成中，半导体设备占比61%，半导体材料占比21% [2] 行业背景与驱动因素 - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高的属性 [2] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展 [2]