项目投资概况 - 公司全资子公司昆山方新精密科技有限公司与昆山市陆家镇人民政府签署《项目投资框架协议》[1] - 项目为方新精密半导体核心零部件项目，预计总投资额为20亿元[1] - 项目达产后预计年产值将超过15亿元[1] 项目业务内容 - 项目拟主要从事匀气盘和半导体铝腔的研发、生产与销售[1] - 项目将为半导体设备、TFT设备、OLED设备提供精密洗净服务[1] - 投资决定为在昆山市陆家镇进一步增资扩产[1]