半导体设备ETF市场表现 - 午后半导体设备ETF（561980）涨幅扩大至3.26%，盘中成交额达2.52亿元 [1] - 成份股中光刻胶概念股晶瑞电材大涨超16%，艾森股份、金海通涨超7%，南大光电涨6.06% [1] - 设备厂商拓荆科技大涨超8%，中科飞测、中微公司涨超4%，北方华创涨3.42% [1] 光刻胶技术突破与行业前景 - 中国光刻胶领域取得重大突破，北大团队通过冷冻电子断层扫描技术解析光刻胶分子微观结构，开发出可减少缺陷的产业化方案 [3] - 半导体材料市场预计2025年同比增长近8%，2023年至2028年年均复合增长率达5.6%，2028年市场规模有望突破840亿美元 [3] - 半导体材料与设备同处半导体产业链上游环节，是半导体制造工艺的基础 [3] 半导体设备ETF产品概况 - 半导体设备ETF（561980）跟踪中证半导指数，其权重中"半导体设备+材料"占比约70% [3] - 截至报告期，该ETF过去六个月净值增长率为61.46%，过去一年净值增长率为89.26% [3]