公司财务业绩 - 2025年前三季度实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 2025年前三季度归属于上市公司股东净利润为12.11亿元，同比增长32.66% [1] - 核心业务刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26% [1] 业务增长亮点 - LPCVD和ALD等薄膜设备收入达4.03亿元，呈现爆发式增长，同比增长约1332.69% [1] - 薄膜设备业务继上半年608.19%高增长后持续成为亮点 [1] - 各项主营业务有力推进，为公司整体收入增长提供坚实支撑 [1] 研发投入与创新 - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长约63.44% [1] - 研发投入占营业收入比例约31.29%，远高于科创板上市公司平均水平 [1] - 多款关键核心设备顺利推进且研发周期大幅缩短，展现对前沿技术布局与产品差异化战略的坚定执行 [1]