总投资7.5亿元,陕西8英寸硅光平台正式通线
第一财经资讯·2025-11-05 09:31
11月4日,陕西光电子先导院科技有限公司(下称"光电子先导院")总经理杨军红宣布,"8英寸先进硅 光集成技术创新平台"(简称"8英寸硅光平台")已正式通线,可为光子产业各类创新主体提供光电、硅 光芯片的研发、中试服务。 该平台总投资7.5亿元,于2023年底启动建设,引进了比利时IMEC"130nm硅光芯片工艺包",配备了光 刻、刻蚀等60余台(套)关键核心设备,在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上,开发90nm以上先 进工艺,已构建起自主可控的先进工艺体系。 硅光芯片是一种基于硅材料微纳加工工艺的光电芯片,用于实现光学变换或者光电转换。硅光芯片的核 心优势是借助成熟硅工艺实现高集成度与低成本,同时兼具光子信号高速、低损耗、抗干扰等特性,已 广泛应用于人工智能、智能驾驶、医疗健康等领域。 长期以来,国内硅光创新产业项目面临"建不起产线、产品无法验证、产能无话语权、市场风险高"的共 性困境。国内企业依托国外平台流片以及量产线流片,不仅需支付高昂流片费用,且面临流片周期长、 产能优先供给限制等问题。自建产线则需巨额的设备和产线建设投入,让大量中小企业和科研团队望而 却步。 区别于标准量产代工厂,中试平台通过小 ...