公司上市进程 - 公司科创板IPO将于11月14日上会迎考 [1] - 公司IPO于2025年6月13日获得受理 当年7月6日进入问询阶段 [1] 公司业务与行业 - 公司是半导体设备核心零部件供应商 [1] - 公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务 [1] - 公司业务包括引进真空获得和流体控制等相关核心零部件 围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案 [1] 募集资金用途 - 公司拟募集资金约14.69亿元 [1] - 募集资金净额拟全部用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金 [1]