半导体设备个股表现 - 中微公司股价上涨超过6% [1] - 华海清科、拓荆科技、芯源微股价上涨超过4% [1] 半导体设备ETF表现 - 科创半导体ETF现价1.521元，上涨0.056元，涨幅3.82% [2] - 科创半导体设备ETF现价1.567元，上涨0.056元，涨幅3.71% [2] - 科创半导体ETF鹏华现价1.231元，上涨0.045元，涨幅3.79% [2] - 半导体材料ETF现价1.622元，上涨0.057元，涨幅3.64% [2] - 半导体设备ETF现价1.545元，上涨0.055元，涨幅3.69% [2] - 半导体设备ETF易方达现价1.803元，上涨0.062元，涨幅3.56% [2] - 半导体设备ETF基金现价1.827元，上涨0.063元，涨幅3.57% [2] - 受盘面影响，半导体设备相关ETF整体上涨超过3% [1] 行业驱动因素 - 在AI浪潮和国产化替代大背景下，国内先进产线未来扩产需求持续存在 [2] - 半导体设备作为晶圆代工扩张的基石，是实现产业链自主可控的重要环节 [2] - 国产半导体设备厂家迎来发展机遇 [2]