公司概况与市场地位 - 公司将于11月14日接受上交所科创板上市审核 [1] - 公司是国内首家量产出货过亿元的国产等离子体射频电源系统厂商 [3] - 2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，公司市场份额位列第一 [3] 产品与技术实力 - 公司聚焦半导体设备核心零部件等离子体射频电源系统，产品被誉为半导体设备的“心脏” [1] - 产品在功率稳定性和频率控制精度等指标上达到国际先进水平，成功打破海外垄断 [1] - 自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，性能可对标国际巨头MKS和AE [3] - 截至今年6月30日，公司已取得境内外108项专利 [4] - 研发投入持续增长，2022年至2025年6月底累计研发投入金额达1.57亿元 [4] - 研发人员158人，占员工总人数的42.13% [4] 财务表现与客户合作 - 自研产品收入规模逐年上升，报告期各期收入金额分别为1.04亿元、2.39亿元、4.56亿元和2.58亿元，占比从66.02%提升至84.81% [3][4] - 公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商，并通过中芯国际、长江存储等龙头晶圆厂的准入审核 [8] - 截至2025年6月30日，公司与客户已实现百万级收入的自研产品共38款，千万级收入的自研产品共24款 [8] - 自研产品毛利快速增长，从5,276.81万元增至14,099.94万元，占主营业务毛利比例从80.11%提升至94.59% [8] 行业背景与市场前景 - 等离子体射频电源系统技术壁垒高、研发投入大、研发周期长，2024年中国大陆该领域国产化率不足12% [2] - 中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模从2019年的31.7亿元增长至2023年的58.4亿元，年均复合增长率达16.5% [5] - 未来中国大陆该市场规模将继续快速增长，2024-2028年复合增长率预计为12.5% [5] - 全球等离子体射频电源系统市场规模将加速增长，2024-2028年复合增长率预计为9.4% [5]