公司业务与产品应用 - 公司先进陶瓷产品主要应用于晶圆制造前道工艺设备 包括存储芯片制造[1] - 产品已进入刻蚀 薄膜沉积 离子注入 光刻和氧化扩散等多种半导体前道设备[1] 产品研发与量产进展 - 公司12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产[1] - 12英寸多区加热静电卡盘已完成产品开发 正积极推进验证进程[1]