公司IPO进展 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO申请已于2025年11月14日获上海证券交易所上市审核委员会审核通过 [1] 公司业务与技术定位 - 公司是围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司 [2] - 公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平 [2] - 公司已开始研发新一代等离子体射频电源系统Cedar系列，该系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，可支撑5纳米及以下先进制程，预计于2025年四季度推出样机 [5] 公司财务与研发表现 - 公司2022-2024年扣非后归母净利润从1961.17万元增至1.29亿元 [2] - 2022年至2025年6月，公司研发投入累计达1.57亿元，并承接了3项国家级重大专项课题 [2] - 公司产能利用率连续三年超过100%，分别达到121.34%、102.12%和111.24% [7] 募投项目规划 - 本次IPO募集资金主要用于五大项目：沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目以及补充流动资金 [4] - 沈阳项目旨在提升半导体级等离子体射频电源系统的生产能力，并扩展公司在北方地区的业务服务范围与客户覆盖深度 [4] - 智能化生产运营基地项目将通过购置智能化软硬件设备、建设自动化立体仓库及信息化业务管理平台，提升等离子体射频电源系统等产品的生产规模、效率及公司信息化管理能力 [5] - 研发与前沿技术创新中心项目将致力于包括信号采样、相位锁定等八大核心技术的超前研究 [5] - 营销及技术支持中心项目计划在长三角、珠三角、京津冀、中西部等关键区域建立中心，以直接获取终端晶圆厂技术反馈，提供定制化服务并扩大市场份额 [6] 行业与政策背景 - 自2025年7月起，上交所科创板对硬科技企业，特别是半导体产业链中填补国内空白的企业，审核明显提速 [2] - 多家半导体产业链企业近期快速过会，例如摩尔线程从受理至注册仅历时四个月，沐曦集成电路于10月过会并于11月获注册批文，强一半导体于11月12日过会 [2] - 科创板“服务新质生产力”的制度优化，正通过资本市场资源配置功能加速国产半导体产业链的自主可控进程 [3] - 随着半导体产业链国产化替代加速，公司募投项目将帮助其突破产能瓶颈，提升技术水平，巩固在半导体核心零部件领域的领先地位 [7]