合作研发项目概述 - 公司控股子公司下属公司佛山芯慧联拟牵头与国内知名高校及研究机构共同开发大世代干法刻蚀装备 [1] - 佛山芯慧联作为牵头单位拟投入自有资金2.186亿元 [1] - 合作研发项目旨在推动国产大世代刻蚀装备的产业化落地 [1] 技术基础与合作目标 - 合作旨在发挥公司研发团队在大世代刻蚀装备领域深厚的技术积累 [1] - 合作方式为与高校及科研机构深度合作 [1]