市场表现 - 大盘震荡回调，半导体设备板块逆势走强 [1] - 中证云计算与大数据主题指数上涨0.7% [1] - 中证芯片产业指数上涨0.7% [1] - 中证半导体材料设备主题指数上涨2.0% [1] - 半导体设备ETF易方达（159558）全天获超1000万份净申购 [1] 行业前景与驱动因素 - 在AI浪潮和国产化大背景下，国内先进产线未来扩产需求持续存在 [1] - 半导体设备作为晶圆代工扩张的基石，是实现产业链自主可控的重要环节 [1] - 国产半导体设备企业有望迎来发展机遇 [1] 指数与产品信息 - 中证半导体材料设备主题指数由40只业务涉及半导体材料和半导体设备的公司股票组成 [6] - 该指数聚焦未来计算的硬件基础环节 [6] - 截至2025年5月20日，半导体设备ETF易方达在跟踪同标的指数的ETF中规模排名第一 [6] - 该基金管理费率为0.15%每年，托管费率为0.05%每年 [6]